水冷板燒結(jié)夾具的選用原則

水冷板燒結(jié)夾具的選用準(zhǔn)則
    水冷板燒結(jié)夾具、VC均溫板載具等熱工裝備是制作半導(dǎo)體芯片的重要東西，其選用準(zhǔn)則直接影響到生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。因而，正確選用這些裝備是制作過程中的重要環(huán)節(jié)。
    水冷板燒結(jié)夾具是用于將硅片固定在加熱設(shè)備上的東西，其選用準(zhǔn)則首要包括以下幾個方面：
    1.耐高溫性：水冷板燒結(jié)夾具需求具有較高的耐高溫性，以確保在高溫下不會發(fā)生變形或損壞，影響固定效果。
    2.均勻性：水冷板燒結(jié)夾具的導(dǎo)熱性能要好，以確保硅片在加熱過程中溫度均勻分布，避免因溫度不均而產(chǎn)生熱裂解等問題。
    3.強(qiáng)度和剛性：水冷板燒結(jié)夾具需求具有一定的強(qiáng)度和剛性，以確保在加壓或減負(fù)過程中不發(fā)生彎曲或變形，保持硅片的平整度。
    4.重復(fù)運(yùn)用性：水冷板燒結(jié)夾具應(yīng)具有杰出的重復(fù)運(yùn)用性，以便于多次運(yùn)用，降低生產(chǎn)成本。
    5.易于清潔和保護(hù)：水冷板燒結(jié)夾具的結(jié)構(gòu)應(yīng)簡略、易于清潔和保護(hù)，以確保生產(chǎn)過程中的衛(wèi)生和設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)。